機床采取隔振、減振諸多措施，具有抗振特性好、運動特性準確、結構剛性好及熱變形小的特性，將有害的振動抑制在許可范圍內。縱向采用液壓傳動，垂直和橫向采用“伺服電機＋滾珠絲桿”機電一體化方式，穩定地實現1μｍ的微量進給。SL500/HZ型LC超精密平面磨床總體布局采用性能優良的拖板移動式，機床各運動部件剛性好、進給靈敏度高。

該機床零部件均選用材料制作，同時采用性能優異的十字拖扳布局。形象化操作界面，會話式編程，簡單易學。其砂輪修整具有自動補償功能。   該機床的主軸系統選用精密角接觸滾動軸承支承，回轉精度在1μm以下。

同時，機床還可以選配其它附件拓展加工領域，不僅廣泛適用于機床、工量具、精密模具、汽車、電器行業，還適用于航空發動機、IT電子等行業。   這款超精密平磨主要是用砂輪圓周進行磨削，除用于平面、溝槽及臺階的高精度磨削外，還能夠實現非平表面的成形加工。